質(zhì)譜氮氣發(fā)生器以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱(chēng)PSA制氮。此法是七十年代迅速發(fā)展起來(lái)的一種新的制氮技術(shù)。該儀器與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、產(chǎn)氣快(15～30分鐘)、能耗低，產(chǎn)品純度可在較大范圍內根據用戶(hù)需要進(jìn)行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點(diǎn)，故在1000Nm3/h以下氮氣發(fā)生設備中頗具競爭力，越來(lái)越得到中、小型氮氣用戶(hù)的歡迎，已成為中、小型氮氣用戶(hù)的方法。