液質(zhì)聯(lián)用氮氣發(fā)生裝置包括氮氣緩沖系統、氮氧分離系統、空氣儲罐系統等。在這些系統中，氮氧分離系統是制氮設備的主要部件，由兩個(gè)交替工作的吸附塔和氣動(dòng)閥、節流閥、消音器等組成。根據碳分子篩對空氣中主要成分氧氣和氮氣的吸附速率不同，在液質(zhì)聯(lián)用專(zhuān)用氮氣發(fā)生器加壓吸附和降壓脫附過(guò)程中實(shí)現氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過(guò)程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應的氣動(dòng)閥自動(dòng)運行。